Étalonnage du vacuomètrejoue un rôle crucial dans le domaine de la mesure du vide et constitue un outil de soutien clé pour l’ensemble de la recherche et du développement dans le domaine de la mesure du vide. Grâce à l'étalonnage, non seulement les jauges à vide relatif existantes peuvent être unifiées selon des normes fiables, mais des recherches approfondies peuvent également être menées sur les performances des jauges à vide en phase de développement.
Ce que l'on appelle « l'étalonnage du vacuomètre » fait essentiellement référence à l'opération de « calibrage » du vacuomètre relatif. Il est à noter que l'étalonnage d'un vacuomètre est effectué dans des conditions spécifiques pour un type de gaz spécifique, à partir desquelles sont obtenus des coefficients d'étalonnage ou des courbes d'étalonnage.
Une fois que le type de gaz change ou que les conditions de travail changent, la courbe d'étalonnage d'origine n'est plus applicable et doit être recalibrée. Même pour le même instrument de mesure, si la jauge est remplacée, sa courbe d'étalonnage changera également en conséquence. On peut voir que l'étalonnage de la jauge à vide relatif est non seulement nécessaire, mais doit également être effectué régulièrement, sinon des erreurs de mesure au-delà de la plage autorisée peuvent survenir.
L'étalonnage concerne l'ensemble du vacuomètre, couvrant à la fois le vacuomètre en tant qu'instrument principal et le circuit électronique en tant qu'instrument secondaire. Habituellement, les deux sont calibrés ensemble, mais il est plus idéal de calibrer le manomètre à vide et le circuit électronique séparément.
L'étalonnage des jauges à vide nécessite une jauge à vide et un système d'étalonnage standard et est réalisé grâce à des méthodes spécifiques.
Les étalons de vide comprennent les vacuomètres absolus, les vacuomètres relatifs standard (ou vacuomètres étalons secondaires) et les systèmes d'étalonnage absolu.
Tous les vacuomètres absolus peuvent servir d’étalons de vide. Le système d'étalonnage du vacuomètre qui utilise un vacuomètre absolu comme référence et calcule avec précision la basse pression régénérée après la chute de pression en tant que norme est appelé système d'étalonnage absolu.
Par exemple, le système d'étalonnage de la méthode d'expansion applique le principe de l'équilibre thermique statique, basé sur la loi des gaz parfaits de Boyle. Ce système étend la limite inférieure d'étalonnage du manomètre à tube en U jusqu'au vide poussé (10 ⁻⁴ Pa). Les jauges à vide avec une stabilité et une précision élevées peuvent être utilisées comme étalons secondaires pour calibrer les jauges à vide de travail après l'étalonnage. De telles jauges à vide sont appelées jauges à vide étalon secondaires. Dans le domaine de la métrologie, les normes sont un système organisé selon des niveaux de précision.
Le 1er mai 1990, l'Administration d'État pour la supervision technique a approuvé et commencé à mettre en œuvre l'importante norme « Système d'étalonnage des instruments de mesure sous vide » (JJG2022-89).
Avec le développement rapide de la technologie moderne, des progrès significatifs ont également été réalisés dans le domaine de la technologie du vide. Actuellement, la gamme d'acquisition et de mesure du vide s'est considérablement élargie, s'étendant de la pression atmosphérique d'origine (10 ⁵ Pa) à une très large gamme de vide extrêmement poussé (<10 ⁻¹⁰ Pa).
Cependant, dans les activités réelles de production industrielle et de recherche scientifique, grâce à une pratique approfondie et à des découvertes statistiques, la plage de pression impliquée par les personnes est principalement concentrée entre 10 ⁻⁸ et 10 ⁵ Pa. Dans cette plage de pression spécifique, afin d'assurer l'exactitude et la cohérence des valeurs de mesure du vide, le « Système d'étalonnage des instruments de mesure du vide » a vu le jour.
Ce système de vérification joue un rôle crucial. Il s'agit d'un maillon clé pour garantir l'exactitude et la fiabilité des valeurs de mesure du vide, grâce auquel une transmission efficace des valeurs de mesure du vide peut être obtenue entre différents liens et équipements.
Plus précisément, dans le domaine de la métrologie du vide, la précision des instruments de mesure du vide à tous les niveaux est cruciale pour l'ensemble du processus de mesure. Le système d'étalonnage est comme une règle précise, fournissant une norme de mesure unifiée pour ces instruments de synchronisation à vide et permettant un étalonnage strict de différents niveaux d'instruments de synchronisation à vide.
Et il convient de souligner que le système d'étalonnage est principalement destiné à la plage de pression spécifique de 10 ⁻⁸ à 10 ⁵ Pa. Dans ce cadre, qu'il s'agisse de l'appareil étalon de vide utilisé pour l'étalonnage et les tests par le service de métrologie, le vacuomètre utilisés dans le processus expérimental par le département de recherche scientifique, ou les équipements de mesure du vide impliqués dans le processus de production par le département industriel, ils doivent tous être calibrés selon ce système d'étalonnage pour garantir l'exactitude et la fiabilité des valeurs de mesure du vide dans l'ensemble fabrication industrielle et processus de recherche scientifique, et pour éviter divers problèmes causés par une mesure de vide inexacte, tels que l'écart des résultats expérimentaux, la qualité de production instable, etc.
