Dans leindustrie des semi-conducteurs, le choix detechnologie de revêtementest un facteur important affectant la qualité et les performances du produit. Aujourd'hui, nous présenterons la technologie FFE à tout le monde.
La technologie FFE a été développée par GENCOA au Royaume-Uni, qui utilise son champ magnétique rotatif interne comme noyau pour améliorer considérablement le faible taux d'utilisation et la mauvaise uniformité des cibles cathodiques planaires circulaires.
Les principaux avantages de la technologie FFE résident dans sa grande uniformité et son taux d’utilisation élevé des matériaux cibles. Grâce à un champ magnétique rotatif interne, la technologie FFE permet de contrôler l'uniformité pendant le processus de revêtement.
Son uniformité peut atteindre mieux que ± 3 % et le taux d'utilisation du matériau cible dépasse également 40 %.
En plus de ses principaux avantages, la technologie FFE offre également de multiples façons d'ajuster l'uniformité.
Par exemple, en modifiant la vitesse de rotation du réseau magnétique (50-120 tr/min), l'uniformité pendant le processus de revêtement peut être ajustée.
De plus, l'ajustement de la position de l'aimant par rapport à l'axe de rotation et l'utilisation de plaques magnétiques pour ajuster le champ magnétique sont également des méthodes d'ajustement de l'uniformité couramment utilisées dans la technologie FFE.
La diversité de ces méthodes d'ajustement permet à la technologie FFE de s'adapter aux différentes exigences de revêtement, améliorant ainsi la qualité et les performances du produit.
La technologie FFE est également très adaptée au revêtement de plaquettes semi-conductrices, avec un degré élevé d'ajustement entre la zone uniforme et le substrat circulaire, rendant le processus de revêtement plus précis et efficace.
De plus, la taille du matériau cible de la cathode de la technologie FFE est variée, avec un choix de 3-8 pouces et 10-17 pouces, ce qui peut répondre aux exigences de revêtement de tranches de différentes tailles.
Outre l’industrie des semi-conducteurs, la technologie FFE trouve également de nombreuses applications dans d’autres domaines.
Par exemple, dans les domaines de l’optique, de l’électronique, de l’aérospatiale, etc., la technologie FFE peut être envisagée pour des produits ayant des exigences élevées en matière de qualité et d’uniformité du revêtement.
La technologie FFE présente également les caractéristiques d'une longue durée de vie de l'aimant, d'une vitesse de rotation réglable, d'une capacité de puissance élevée et d'un refroidissement direct des matériaux cibles.
Ces caractéristiques rendent la technologie FFE plus stable et fiable pendant le processus de revêtement. Parallèlement, son contrôle de la pression du gaz et sa conception de joint d'eau sous vide garantissent également la précision et la sécurité du processus de revêtement.
Voici les mesures d'uniformité et d'utilisation de la cible pendant tout le cycle de vie du matériau cible, fonctionnant à différents kW · h (le matériau cible est Cu (C101), la puissance est de 5 kW DC, le gaz est Ar, la pression est de 5,9 E{{ 4}} mbar)
