La pompe à vide auxiliaire Inpower est souvent utilisée en combinaison avec d'autres types de pompes à vide, telles que des pompes à palettes rotatives ou des pompes à joint d'huile, pour créer un système de vide plus puissant et plus fiable pour les processus industriels.

Modèle : R30/70/150/300/400/600/900/1200/2500/5000/10000

Vide ultime : inférieur ou égal à 0,01 Pa

VITESSE 50 Hz : 30-10000 L/s

VITESSE 60 Hz : 36-12000 L/s

Paramètre technique:

Modèle			R30	R70	R150	R300		R600	R1200	R2500
Vitesse de pompage (50 Hz)		L/s	41	83	166	360		600	1200	2500
Vide ultime (50 Hz)		Pennsylvanie	5*10^-2	5*10^-2	5*10^-2	5*10^-2		5*10^-2	5*10^-2	5*10^-2
Pression différentielle maximale		Pennsylvanie	6700	6700	6700	5500		5500	4000	4000
Différence de pression de la soupape de trop-plein (en option)		Pennsylvanie	8000	8000	8000	8000		8000	8000	8000
Puissance (50 Hz)		KW	1.1	1.1	2.2	4		7.5	11	18.5
Vitesse de puissance (50 Hz)		tr/min	1440	2880	2880	2880		2880	2880	2880
Connecter	Diamètre d'entrée	mm	80	80	100	150		200	250	320
Connecter	Diamètre de sortie	mm	80	80	100	150		200	250	320
Méthode de refroidissement		Air/Eau	Air	Air	Eau		Eau	Eau	Eau	Eau
Poids		Kg	80	110	200	270		580	780	1400
Exigences facultatives		Les options optionnelles incluent la fréquence variable,anticorrosion, antidéflagrant, etc. selon les exigences

Caractéristique:

Rôle de soutien : La pompe à vide Roots auxiliaire fonctionne en conjonction avec la pompe Roots principale pour créer et maintenir le niveau de vide souhaité dans le système. Elle permet d'évacuer les molécules de gaz évacuées par la pompe Roots, garantissant ainsi un fonctionnement efficace.

Fonctionnement à sec ou à joint d'huile : selon le modèle spécifique, les pompes à vide auxiliaires Roots peuvent fonctionner à l'aide de mécanismes à joint d'huile ou comme pompes sèches. Les pompes à joint d'huile offrent une étanchéité et une lubrification efficaces, tandis que les pompes sèches éliminent le risque de contamination par l'huile dans les processus sensibles.

Conception compacte : les pompes à vide auxiliaires sont souvent compactes et légères, ce qui les rend faciles à installer et à intégrer dans les systèmes de vide existants. Leur taille compacte permet une flexibilité dans l'agencement et la configuration du système.

Fiabilité:

Tout comme la pompe Roots principale, les pompes à vide Roots auxiliaires sont conçues pour être fiables et durables. Elles sont construites pour résister à un fonctionnement continu et fournir des performances constantes sur des périodes prolongées.

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Application de la pompe à vide auxiliaire Inpower :

Revêtement sous vide : les pompes à racines multi-étages sont largement utilisées dans les processus de revêtement sous vide tels que le dépôt physique en phase vapeur (PVD) et le dépôt chimique en phase vapeur (CVD) pour déposer des films minces sur des substrats avec précision et uniformité.

Fabrication de semi-conducteurs : dans les installations de fabrication de semi-conducteurs, les pompes Roots à plusieurs étages jouent un rôle essentiel dans la création et le maintien des conditions de vide ultra-élevé requises pour des processus tels que l'implantation ionique, la gravure au plasma et l'inspection des plaquettes.

Instruments d'analyse : Les instruments d'analyse hautes performances tels que les spectromètres de masse, les microscopes électroniques et les outils d'analyse de surface bénéficient de l'utilisation de pompes à racines multi-étages pour atteindre les faibles pressions de base nécessaires à des mesures et des analyses précises.

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Pompe à vide auxiliaire

Paramètre technique:

Caractéristique:

Fiabilité:

Application de la pompe à vide auxiliaire Inpower :