Booster de vide à racines à entraînement magnétique sans fuite
Le Booster Roots à entraînement magnétique sans fuite utilise une transmission magnétique hermétiquement scellée pour transférer le couple entre le moteur et la chambre de pompage. En éliminant les joints d'arbre dynamiques conventionnels, cette conception supprime le chemin de fuite principal inhérent aux surpresseurs à entraînement mécanique standard-, empêchant ainsi la contamination des gaz de procédé et la pénétration de l'atmosphère.
Conçu comme un surpresseur de grande capacité-pour les pompes primaires, ce système optimise la vitesse de pompage et les performances du vide ultime dans les processus de semi-conducteurs, chimiques, métallurgiques et de revêtement industriel.
Spécifications techniques
Les paramètres suivants servent de base pour l'évaluation technique et la sélection du modèle :
|
Paramètre |
Spécification/Base de sélection |
|
Mécanisme de pompe |
Surpresseur de vide Roots à double-rotor |
|
Interface du lecteur |
Accouplement magnétique hermétique (pas de pénétration de l'arbre) |
|
Vitesse de pompage nominale |
Configuré au point de fonctionnement requis |
|
Pression ultime |
Dépend de la configuration du système et des performances de la pompe secondaire |
|
Plage de pression de service |
Déterminé par la charge de gaz continue et la configuration du booster |
|
Max. Pression différentielle admissible |
Modèle-spécifique ; protégé par une vanne de dérivation ou un pressostat |
|
Taux de fuite |
Testé par spectrométrie de masse à l'hélium (<= 1x10^-9 Pa·m^3/s) |
|
Normes de bride |
Normes ISO-K, CF, DN ou ANSI disponibles |
|
Méthode de refroidissement |
Refroidi par air-ou par eau-refroidi (en fonction de la charge thermique) |
|
Compatibilité gaz |
Personnalisation des matériaux basée sur l'analyse des gaz corrosifs/condensables |
|
Alimentation et alimentation |
Triphasé standard (380 V/440 V/480 V, 50/60 Hz ; ATEX en option) |
Technologie d'entraînement magnétique et contrôle des fuites
Élimination des joints d'arbre dynamiques
Les boosters Roots standard s'appuient sur des joints d'arbre mécaniques dynamiques, qui s'usent progressivement en raison du frottement, de la dilatation thermique et de la dégradation chimique.
Le système d'entraînement magnétique élimine ce point de défaillance en utilisant une coque de confinement statique (cartouche) :
Transmission du couple : les aimants externes entraînent les aimants internes à travers une barrière solide et non magnétique-sans contact direct.
Étanchéité hermétique : convertit un joint dynamique en un dispositif de joint statique, éliminant ainsi les fuites de l'arbre et protégeant la pureté du processus.
Normes de fuite mesurables
Dans l'ingénierie du vide poussé, "zéro fuite" fait référence à une norme d'acceptation stricte et mesurable plutôt qu'à une allégation marketing non vérifiée.
Garantie de qualité : chaque unité est testée en usine-sous vide dynamique à l'aide de détecteurs de fuites par spectromètre de masse à l'hélium (HMSLD) pour confirmer la conformité aux limites de taux de fuite d'hélium3. . Les certificats de test sont inclus avec la documentation d'expédition.
Applications industrielles clés
Le booster à entraînement magnétique est idéal pour les applications nécessitant un confinement strict des gaz, une isolation des matériaux toxiques ou des conditions ultra-propres :
Semi-conducteurs et électronique :Dépôt PVD/CVD, gravure, extraction de cristaux et traitement de plaquettes impliquant des gaz réactifs ou de haute-pureté.
Traitement chimique et pharmaceutique :Récupération de solvants, distillation sous vide, dégazage thermique et extraction de vapeur agressive.
Revêtement sous vide et métallurgie :Revêtement optique, soudage par faisceau d'électrons, fusion par induction sous vide (VIM) et fours de traitement thermique industriel.
Récupération de gaz à haute valeur{{0} :Recirculation en boucle fermée-de gaz rares ou coûteux, notamment l'hélium (He), l'argon (Ar) et l'hexafluorure de soufre (SF6).
Guide d'intégration et de sélection du système
La sélection du booster Roots optimal nécessite d’évaluer l’ensemble du système de vide plutôt que de se fier uniquement à la vitesse de pompage nominale.
Calculer la vitesse de pompage cible :Déterminez la vitesse effective en fonction du volume total de la chambre, du temps d'évacuation requis, du débit de gaz de procédé et du dégazage du système.
Correspondance de la pompe de support :Assurez-vous que la pompe de refoulement fournit un débit suffisant pour gérer la décharge du surpresseur sans dépasser les limites maximales de pression différentielle.
Examen des médias de processus :Identifiez les gaz corrosifs, toxiques, condensables ou chargés de particules- pour sélectionner les revêtements de rotor appropriés (tels que le PTFE ou le nickelage), les configurations de lest de gaz ou les unités de filtration d'entrée.
Assurance qualité et normes de fabrication
Usinage de précision :Le fraisage de profilés CNC maintient des jeux ultra-entre le rotor-et-le boîtier, optimisant ainsi l'efficacité volumétrique sans contact mécanique.
Équilibrage dynamique :Les rotors sont soumis à un équilibrage dynamique conforme aux normes ISO 1940 G1.0 pour garantir de faibles vibrations et une longue durée de vie des roulements.
Sécurité d'accouplement :Les ensembles d'entraînement magnétique sont soumis à des tests de-contrainte-thermique pour garantir un glissement nul sous pleine charge de fonctionnement.
FAQ
Q : Comment l'entraînement magnétique empêche-t-il la contamination des gaz de procédé ?
R : Contrairement aux boosters Roots traditionnels qui utilisent des joints mécaniques rotatifs autour de l'arbre, l'entraînement magnétique transmet le couple à travers une solide barrière de confinement statique.
Q : Ce booster peut-il démarrer à la pression atmosphérique ?
R : Les boosters Roots standard ne doivent pas être démarrés à la pression atmosphérique sans protection, car des différences de pression élevées peuvent provoquer une surcharge du moteur et une dilatation thermique des rotors.
Q : Comment l'entraînement magnétique est-il protégé contre le glissement de couple ou la surcharge ?
R : L'accouplement magnétique est évalué au-dessus du couple de fonctionnement maximal requis. Si un blocage mécanique inattendu se produit, le champ magnétique se découplera (glissera) pour protéger les composants internes et le moteur d'une panne catastrophique.
Q : Cette pompe peut-elle gérer des gaz corrosifs ou condensables ?
R : Oui. Pour les applications agressives ou condensables, nous proposons des matériaux de boîtier et de rotor personnalisés (tels que l'acier inoxydable ou des revêtements de surface spéciaux comme le PTFE et le nickelage).
Q : Quelles données techniques dois-je fournir lors d’une demande de devis ?
R : Pour garantir un dimensionnement précis, veuillez fournir : la pression de fonctionnement cible, la vitesse de pompage requise ou le volume de la chambre avec le temps d'arrêt de la pompe cible-, la composition du gaz, les spécifications de la pompe d'appoint existante (le cas échéant), les normes de bride préférées et les exigences des services publics (tension/eau de refroidissement).
étiquette à chaud: Booster de racines d'entraînement magnétique sans fuite, Chine Booster de racines d'entraînement magnétique sans fuite fabricants, fournisseurs, usine
